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MEMS微型NO2气体传感器的研究
空气中的污染物会给人们带来不同程度的伤害，证据
表明:城市大气污染物与各个年龄组的急慢性疾病有关，其
中，氮氧化合物就是不可忽视的污染物之一川。N02是一
种强毒性气体，主要来源于汽车的尾气和炼油厂的废气。
及时准确地获知N02气体体积分数对环境检测和保护，进
而改善人类生存的条件有着重大的意义。近年来，有机高
分子酞普聚合物对N02气体的敏感性引起了人们的广泛重
视〔2-4]，而且，MEMS工艺可以实现敏感物质的薄膜化、器
件的微型化，所以，采用MEMS技术制作的微型传感器具
有区别于传统传感器的显著特点，如，体积小、功耗低、性能
稳定等特点[[5]。因此，本文采用MEMS技术研制一种以硅
材料为基底、酞著铜为敏感膜的微型N02气体传感器。
表明:城市大气污染物与各个年龄组的急慢性疾病有关，其
中，氮氧化合物就是不可忽视的污染物之一川。N02是一
种强毒性气体，主要来源于汽车的尾气和炼油厂的废气。
及时准确地获知N02气体体积分数对环境检测和保护，进
而改善人类生存的条件有着重大的意义。近年来，有机高
分子酞普聚合物对N02气体的敏感性引起了人们的广泛重
视〔2-4]，而且，MEMS工艺可以实现敏感物质的薄膜化、器
件的微型化，所以，采用MEMS技术制作的微型传感器具
有区别于传统传感器的显著特点，如，体积小、功耗低、性能
稳定等特点[[5]。因此，本文采用MEMS技术研制一种以硅
材料为基底、酞著铜为敏感膜的微型N02气体传感器。
